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产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介
设备型号
CHDY002
功能特点
可精准作用于晶片切割后的表面,能够迅速去除多余部分,实现高效减薄,可确保厚度均匀一致,为后续加工节省大量时间,大幅度降低耗材成本,同时有效减少应力产生 ,大幅提升加工效率与产品质量。
应用场景
在碳化硅晶片制造过程中,为后续的晶片研磨、光刻等工序提供高质量的表面预处理,广泛应用于芯片制造企业。
产品参数
项目 | 参数 |
操作模式 | 半自动模式 |
打磨范围 | 6-inch/8-inch |
激光器功率 | 20-50w |
清洁精度 | ±5μm |
对焦方式 | 自动对焦 |
设备尺寸(W*D*H) | 1000mm×1200mm×2050mm |
设备质量 | 约650KG |
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